청정도 등급에 따른 분류

클린룸에서 말하는 청정도는 일정한 체적 내에 분포한 공기 중 입자의 농도를 측정하여 분류합니다. 이 때 측정하는 입자의 농도는 입자 크기가 0.1㎛ 에서 5 ㎛  범위 내의 누적분포로 정의하고 있습니다. 국제기준 ISO 14644-1에서 정하고 있는 청정도 등급 분류 기준은 아래 표와 같습니다.



ISO 분류는 1㎥ 중 입자의 농도를 측정할 때의 값으로 등급을 분류하고 있는데, 이것을 1ft³중 입자의 농도로 환산하여 US FED STD (federal Standard 미연방정부표준안) 에서는 아래와 같이 규정하고 있습니다.