안녕하세요. 클린룸, 냉난방 공조설비 시공 전문업체 (주)에이치엔에스 김실장 입니다.

오늘 소개해드릴 현장은 충북대의 반도체공학부 실습실입니다. 올해 신설하는 반도체공학부가 충북지역형 반도체 플러스 일자리 사업(충청북도·충북지역인적자원개발위원회)의 지원을 받아 반도체 소자제작과 반도체 공정실습을 위한 반도체 청정실(클린룸) 구축을 진행하게 되었습니다. 에이치엔에스가 전반적인 클린룸 구축공사를 담당하여 안전하고 규정에 맞는 클린룸을 구축하였습니다.

천장, 바닥, 벽체 시공

클린룸 시공 단계에서 가장 먼저 진행하는 것이 바로 기초공사입니다. 클린룸의 섹션(구역)을 나눠주는 역할을 하며 청정한 공기를 실외와 차단하여 지속적으로 유지시켜 줍니다. 먼저 판넬공사가 진행되는데요. 벽체와 천장을 설치하고 조립하는 과정입니다. 클린룸 내부에는 다양한 장비들이 설치됩니다. 그리고 그 장비에 전기를 공급해줄 전기공사와 공기의 청정흐름을 위한 배관과 덕트 등을 설치해야 합니다. 안전성, 단열성, 위생성을 갖춘 우레탄 판넬을 사용합니다.

반도체 제작과 특성분석까지 가능한 공간

이번에 시공한 클린룸 내에서는 실리콘 반도체 제작을 위한 포토, 박막증착, 식각, 케미컬, 분석, 열처리 등의 장비들을 갖췄습니다. 반도체 제작에서부터 특성 분석까지 일련의 과정을 클린룸 한 곳에서 처리할 수 있도록 설계한 것이 특징이라고 할 수 있겠습니다.

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