안녕하세요. 클린룸, 냉난방 공조설비 시공 전문업체 (주)에이치엔에스 김실장 입니다.

클린룸은 내부에 존재하는 입자의 크기와 개수에 따라 등급이 나누어집니다. 등급을 분류하기 위해서는 샘플링이라는 작업이 진행되는데요. 측정장비를 사용하고 위치의 개수를 산정하는 등의 규정을 준수하여 측정하게 됩니다. 오늘은 클린룸의 등급을 결정하는 요소인 샘플링의 시험 방법과 단계를 살펴보도록 하겠습니다.

샘플링 시험방법 6단계

① 입자 농도를 측정하기 위해 사용 전 교정받은 측정 장비인지 확인 후, 교정된 입자 계수기를 준비한다.

② 샘플링 시작 전, 청정실 운영상태와 ISO 등급 분류를 확인한다.

* 시험은 비운전상태와 운전상태에서 수행 가능하며, 정기적인 환경 모니터링의 경우에는 일반적으로 운전상태에서 수행

③ 결정된 샘플링 위치와 측정 시간을 확인한다.

④ 기류가 불어오는 방향으로 입자 계수기의 프로브를 위치시킨다.

* 측정 위치의 기류방향을 제어할 수 없거나 예측 불가능한 경우(비단일방향류), 프로브는 수직방향(위)으로 향하도록 위치

⑤ 각 샘플링 위치에서 샘플링 시간 확인 후 입자 계수기를 이용하여 측정한다.

⑥ ISO 등급에서 허용한 입자 농도에 만족하면 적합으로 판정한다.

* 규정된 등급을 벗어나는 수치가 측정된 경우, 그 값은 무시할 수 있으나, 시험보고서에 기록한 후 새로운 샘플을 채취할 수 있다.

* 청정실이나 장비에 문제가 발생하여 규정된 등급을 벗어나는 결과가 나타난 경우, 그 원인을 파악하고 시정조치를 취한 후 해당 위치 또는 인접 위치에서 재시험을 수행하고 이러한 사항은 시험보고서에 기록한다.

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