안녕하세요. 클린룸, 냉난방 공조설비 시공 전문업체 (주)에이치엔에스 김실장 입니다.

클린룸은 다양한 공기정화 및 전자장비, 생산장비들이 동시에 가동되기 때문에 꼼꼼하고 정기적인 유지관리와 보수가 필요합니다. 따라서 클린룸을 포함하는 시설을 보호하기 위한 적절한 안전조치가 필요하고 그것을 규정이나 지침으로 만들 필요가 있습니다.

오늘은 산업안전보건공간에서 지침하고 있는 클린룸의 안전관리 중에서 환기 및 배기 설비에 대한 부분을 살펴보도록 하겠습니다.

급기 및 재순환 설비

(1) 외부 공기 흡입구의 위치는 자체 건물, 다른 구조물, 장치 등으로부터 발생하는 위험 물이나 연소생성물이 유입되는 것을 피하도록 선택하여야 한다.

(2) 고효율입자필터(HEPA)와 초미세입자필터(ULPA)는 관련 규정의 요구사항을 충족시켜야 한다.

국부 배기설비

(1) 클린룸으로부터 배출되는 배기는 재순환되어서는 안되며, 위험물의 재인입이 되지 않도록 충분한 장소, 높이 및 속도로 지붕 위로 방출하여야 한다.

(2) 클린룸 급기측으로 오염물질이 유입될 위험을 발생시킬 수 있는 장치들은 연무배기 설비(Fume exhaust system) 내에서 사용되어서는 안된다.

제어설비

(1) 배기용 환기설비는 자동 비상 예비전원을 갖추어야 하고, 비상전원은 관련 규정에 적합하게 설계 및 설치하여야 한다.

(2) 배기 수준이 안전한 대기를 유지는 경우에 비상전원은 배기설비 용량의 50 % 이상으로 배기설비를 작동시켜야 한다.