가압플래넘 방식

- 가압 플래너 방식 크린룸 천장에 초고 성능 Filter(HAPAFilterorULPAFilter)를 설치되고 리턴 덕트 또는 공기 순환 유닛 내부에 가압용 축류팬이 설치되어 크린룸으로 청정한 공기를 불어넣어 주는 방식이다.

- 덕트 방식에 비해 공기의 유로가 짧고 축류팬의 기계적 효율이 좋기 때문에 에너지 절감 방식이라고 알려져 있다.

- 상부 플래넘의 압력이 높아 필터 누출이 발생하면 클린룸을 오염시킬 수 있다.

덕트 방식

- 리턴되어 순환되는 공기가 외부에서 유입되는 공기와 혼합된 후 크린룸으로 재공급되는 방식으로, 공조기에서 클린룸까지 덕트로 연결된 방식을 말한다.

- 여러 개의 직병렬 덕트가 연결되어 압력손실이 큰 단점이 있다.

- 에너지 소비량은 다른 방식에 비해 크다.

FFU(Fan Filter Unit) 방식

- FFU에 내장된 팬에 의해 가압하여 공기를 순환하는 방식으로 클린룸과 상하부 플래넘으로 구성된다.

- 최근 신설되는 중대형 크린룸에 빠르게 확산되는 방식으로, 순환 공조 계통은 터 방식과 동일하고 공기의 순환을 필터 상부에 설치된 개별 팬으로 순환하는 방식이다.

- 소형 순환팬 유닛과 ULPA 또는 HAPA Filter를 조합한 복수의 FFU를 천장에 설치하여 청정공기를 순환시킨다.

- 클린룸의 압력이 상부플래넘의 압력보다 높아 가압플래넘 방식에 비해 오염누출에 유리하고 배치의 유연성이 큰 것으로 알려져 있다.

- FFU에 내재된 팬의 기계적 효율에 따라 에너지 비용의 편차가 크다.