안녕하세요. 클린룸, 냉난방 공조설비 시공 전문업체 (주)에이치엔에스 김실장 입니다.

내부 청정도를 유지하는 클린룸 공간에는 다양한 장비들이 존재합니다. 공기를 깨끗하게 유지시켜주는 장비부터 순환시켜주는 장비, 외벽과 천장을 받쳐주는 프레임, 몸에 먼지를 털어주는 기계 등 클린룸 환경 조성을 위해 존재하는 전문 장비들만 수십가지가 있습니다. 오늘은 클린룸에서 사용하는 장비들의 용어와 관련된 장비들까지 간략하게 정리해서 알아보도록 하겠습니다.

공기조화기

공기를 흡입하여 이것을 공기조화(냉방·난방·제습·가습·공기의 정화 등)의 목적을 달성해서 내보내기 위해 필요한 장비(에어필터 공기냉각기·공기가열기, 가습기, 송풍기 등)를 케이싱에 조합시킨 유닛으로, 용도에 따라 형태나 기능 및 용량이 다양하다.

외부조화기

AHU의 일종으로 환기되는 공기없이 외부공기로만 장비배기 및 클린룸 양압유지를 위한 공기를 클린룸에 적합하도록 온습도 및 청정도를 맞추어 공급하는 장치, 외기조화기 줄여서 외조기(전외기공조기)라고도 한다.

덕트

공기나 기타유체가 흐르는 통로를 말하며, 공기가 흐를 경우 풍도라고도 한다. 단면이 직사각형이나 원형으로 된 것이 많이 사용되지만, 때로는 타원형을 사용한다.

에어샤워

클린룸의 입구에 설치되어 사람이 입퇴실할 경우에 반드시 통과하는 관문으로 클린룸 내의 공기와 클린룸외의 공기가 직접 섞이지않게 하기 위함(AirLock효과)과 입실시에 작업자의 의복에 부착한 먼지를 제거하기 위해서 이용된다. 에어록효과를 유지하기 위해서 양쪽문 이동 시에 개방하지 않게 인터록 기능을 갖추고 있는 것이 일반적이다.