슈퍼클린룸이란? (Super Clean-Room)

반도체 공장 내의 클린룸에서 청정도 기준은 클래스라는 등급을 사용합니다. 가로 세로 높이가 30cm인 입방체 내부에 사람의 머리카락 직경의 1/1000 크기의 먼지 1개가 있으면 클래스 1 이라고 표시합니다. 100개가 있다면 클래스 100 이라고 부르죠.

대부분의 반도체 공장 클린룸은 클래스10 또는 클래스1의 수준을 유지합니다. 이 정도의 클래스를 슈퍼클린룸이라고 부릅니다. 참고로 100~1000 사이는 고청정 클린룸이라고 부르고 있습니다.

클린룸의 층류방식

클린룸을 구성하는 방식은 크게 난류방식과 층류방식으로 구분됩니다. 여기서 층류방식은 다시 여러 가지 형태로 구분됩니다.

Super Clean Room에 적용되는 방식은 각종 Clean Room 방식 중에서 기본적으로 Vertical Laminar Flow의 형태를 갖추고 있고, 공기의 순환형태 및 온습도 제어의 방식에 따라 몇가지 시스템이 적용되고 있습니다. 근래 국내외적으로 가장 많이 채택되고 있는 방식으로는 Open Bay 방식, Fan Filter Unit 방식, Clean Tunnel Module 방식 등이 있습니다.

1) 수직 층류형 (Vertical Laminar Flow)

기류가 천정면에서 바닥으로 흐르도록 하는 방식으로 청정도 CLASS 100 이하의 고청정 공간을 얻을 수 있습니다. 취출풍속은 0.25 ∼ 0.5 m/sec 입니다. 우리가 이야기한 슈퍼클린룸은 수직층류형 방식을 사용합니다.

2) 수평 층류형 (Horizontal Laminar Flow)

기류가 한쪽 벽면에서 마주보는 벽면으로 흐르도록 하는 방식으로 이 방식의 특징은 상류측의 작업의 영향으로 하류측에서는 청정도가 저하하는 것입니다. 상류측에서는 Class 100 이하, 하류측에서는 상류측의 작업내용에 따라 Class 1,000 정도의 청정도를 얻을 수 있습니다. 취출풍속은 0.45 m/sec 이상입니다.